Precision RF Pulse Sensors7037

类别:半导体制程射频功率量测系统

简介:7037系列RF脉冲功率传感器拥有0.5%的测量,它为实验室和半导体Fab测试带来惊人的可追溯。在校准的频率下为0.5%,可用于测量RF脉中波形内的门控功率。

7037系列适用于半导体应用的为0.5%的精密脉冲功率传感器精湛的准确性!

7037系列RF脉冲功率传感器为实验室和半导体Fab环境带来惊人的可追溯。旨在为研发和工艺工程师提供易用性和可霏的数据。

在校准的频率下,这些传感器的为0.5%,可用于测量RF脉冲波形内的门控功率。校准可追溯到美国国家标准技术研究院(NIST),因此您可以对这些传感器提供的测量的质量和准确性充满信心。

产品特点

时域显示

多电平脉冲内多达4个状态的平均功率测量

在校准频率下,在整个动态范围内能够实现±0.5%的功率测量。NIST可追溯校准

谐波滤波

外部同步输入

射频互锁(可选)

可通过SCPI命令集编程

优点:

通过射频发生器的校准和验证,这些高传感器使人们对射频发生器的输出充满信心。使用VPM3-MSP软件记录和分析来自实验配方的RF功率数据,以简化流程开发。现场过程监视允许在运行时实时监视过程以检测异常。。RF脉冲波形的时域分析可以更仔细地观察高功率RF脉冲

image.png微信截图_20240218143932.png